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制氧机是利用空气分离技术制取氧气的设备。目前市面上的家用制氧机大都采用分子筛法,利用加压吸附、常压解吸的方式实现连续供气的目的。

在制氧机加压、解压过程中,制氧机压力传感器可以监测吸附塔压力,从而辅助制氧机调节制氧浓度。智美芯ZMXP2绝压传感器是联合北京大学MEMS团队设计研发的压力芯片,支持模拟或数字输出,能够完全替代国外进口高端的压力传感器

其核心采用的是高性能信号调理电路和MEMS压阻式芯体,可以提供温补后的高精度绝压输出信号,同时提供气路接口,为系统开发者提供了方便的、经济的选择,在工业、医疗和消费类电子产品等领域已大量应用。该系列压力传感器敏感单元采用惠斯通电桥原理,以MEMS工艺对传感器进行加工以提供极好的电阻精确度和一致性,并使用高精度的传感器信号调理芯片,对MEMS传感器的温度线性度、零偏和灵敏度进行了数字补偿。